Herman gift Gertrud von der Linde den 18 Jun 1626 i Stockholm. Gertrud (dotter till Erik Larsson von der Linde och Vendela Jacobsdotter Ros till Segersjö och Malmvik) föddes den 2 Apr 1608 i Stockholm; dog cirka 1656 i Västervik (H). [Familjeöversikt] [Familjediagram]

1. Lorentz von Campenhausen dog 1672.
2. Johan Herman Campenhausen föddes cirka 1628 i Stockholm; dog cirka 1642 i Stockholm.
3. Elsa Hermansdotter Campenhausen föddes cirka 1632 i Tyskland; dog 1694 i Tveta (H).
4. Gertrud Hermansdotter Campenhausen föddes cirka 1633 i Tyskland; dog den 6 Feb 1703 i Västervik (H).
5. Kristina Dorotea Hermansdotter Campenhausen dog 1712 i Fröjel (I).
6. Jacob Campenhausen föddes cirka 1640 i Stockholm.
7. Johan Herman von Campenhausen föddes 1641; dog 1705.